Вакуумметры

Вакуумметры – это приборы, предназначенные для измерения давления ниже атмосферного, то есть вакуума. Они широко используются в различных областях, включая производство полупроводников, химическую промышленность, металлургию и в научных исследованиях.

Как и манометры, вакуумметры бывают разных типов:

1. Механические вакуумметры:
   - Пружинные (часто с модификациями для измерения низких давлений);
   - Жидкостные, например, масляные манометры.

2. Термические вакуумметры:
   - Термопарные;
   - Пирани.

3. Ионизационные вакуумметры:
   - Пеннинга;
   - Хот-катодные (например, Байард-Алперта).

Поверка вакуумметров выполняется с целью подтверждения их точности и включает несколько этапов:

1. Визуальный осмотр прибора на предмет повреждений и износа.
2. Проверка на стабильность показаний при нулевом уровне вакуума.
3. Сравнение показаний с эталонным вакуумметром на различных уровнях вакуума для определения погрешности измерений.
4. При необходимости проводится калибровка и регулировка прибора.
5. Оформление протокола поверки, который подтверждает соответствие измерительного прибора установленным требованиям.

Поверка вакуумметров необходима для обеспечения точности измерений вакуума. Неправильные показания могут привести к серьёзным последствиям, включая сбои в производственных процессах, испорченную продукцию и даже опасные для жизни ситуации. Регулярная поверка обеспечивает доверие к процессам, где важно поддержание определённого уровня вакуума, и помогает поддерживать стандарты качества и безопасности.